熱式質量流量計一般用來測量氣體的質量流量。具有壓損低;流量范圍度大;高精度、高重復性和高可靠性;無可動部件以及可用于較低氣體流量監測和控制等特點。
熱式質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在*刻條件下性能優良、可靠性高的技術。熱式質量流量計有兩個溫度傳感器被置于介質中時，其中一個傳感器被加熱到環境溫度以上的的溫度，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。介質流速增加，介質帶走的熱量增多，兩個溫度傳感器的溫度差將隨介質的流速變化而變化，根據溫度差與介質流速的比例關系，可得出流體的流量Q。熱式質量流量計目前絕大部分用于測量氣體，只有少量熱式質量流量計用于測量微小液體流量。
熱式質量流量計壓力損失小，只需與流量傳感器配套使用，形成固定流量計，工作過程中損壞或故障少，是實用流量計，可測量低流量或小流量，管道污垢或雜質無關，熱質量流量計能準確測量流量，壓力損失不大，方便快捷。當使用熱質流量計測量氣體時，氣體的比熱容量會隨著壓力溫度的變化而變化，但所使用的溫度壓力附近的小變化可視為常數。
